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美國(guó)Siargo FS8000系列微機(jī)電氣體質(zhì)量流量傳感器 - FS8001/FS8003

  • 美國(guó)Siargo FS8000系列微機(jī)電氣體質(zhì)量流量傳感器
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流量范圍:0~500sccm
精度:± (2+0.5FS)%
重復(fù)性:?± 1.0
輸出方式:線性,模擬電壓0.5~4.5VD C(可選IC 數(shù)字信號(hào)輸出)
響應(yīng)時(shí)間:10ms
工作溫度:0 ~ +55℃、
工作濕度:<95% RH (無(wú)結(jié)冰、無(wú)凝露)

產(chǎn)品型號(hào):
FS8001/FS8003
PDF:
訂貨數(shù)量:

產(chǎn)品介紹

一、FS8000系列微機(jī)電氣體質(zhì)量流量傳感器產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
FS8000系列微機(jī)電氣體質(zhì)量流量傳感器是專(zhuān)門(mén)為各類(lèi)工業(yè)過(guò)程控制而 設(shè)計(jì)的。產(chǎn)品有兩種測(cè)量范圍,螺紋接口易于安裝,可用于固晶機(jī)等多種工業(yè)設(shè)備。

二、FS8000系列微機(jī)電氣體質(zhì)量流量傳感器產(chǎn)品特點(diǎn):
傳感器靈敏度高,有極小的始動(dòng)流量 
響應(yīng)速度快
低壓損 
安裝方便

三、FS8000系列微機(jī)電氣體質(zhì)量流量傳感器技術(shù)參數(shù):

項(xiàng)目

FS8001

FS8003

單位

流量范圍

(0~500) sccm

(0~6) SLPM


精度

±(2. 0+0. 5FS)

%

重復(fù)性

±1. 0

%

零點(diǎn)輸出漂移

±30

mV

輸出漂移

±0. 12

% / ℃

響應(yīng)時(shí)間

10

ms

工作電源

8~24

VDC

輸出方式

線性,模擬電壓0.5~4.5VD C(可選IC 數(shù)字信號(hào)輸出)


Max工作壓力

0.3

MPa

工作溫度

0 ~ +55

儲(chǔ)存溫度

-20 ~ +65

工作濕度

<95% RH (無(wú)結(jié)冰、無(wú)凝露)


電氣接口

SM 05B-SRSS-TB (JST)


機(jī)械接口

M5螺孔

Rc1/ 8(入口)/M 5螺孔(出口)


標(biāo)準(zhǔn)方式 
空氣(20℃,101.325kPa) 


ISweek 工采網(wǎng)的所有產(chǎn)品均來(lái)自于原始生產(chǎn)廠商直接供貨,非第三方轉(zhuǎn)售。

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